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Eximor® SV1 ディスポーザブル フィルター

Eximor® (エキシモア) SV1 ディスポーザブル フィルターは、RRC 用溶剤や NTD 用現像液などの重要なフォトケミカル用の高い清浄度を持ったユースポイント (POU) 用フィルターです。

  • 28 nm 以下のテクノロジーノードにおいて優れた除粒子性能と迅速な立ち上げを提供
  • コアフィル構造により、全体的なフィルターのプライミング時間が短縮され、フィルター立ち上げ時のコストを削減
  • 効率的な立ち上げは、ディフェクトの低減に寄与し、迅速かつ高い安定性と再現性を実現 
  • ポリエチレンをベースとした独自の膜技術により、ウェーハ上の欠陥を減らし、低圧力損失で微細な粒子を除去
  • ノンシービング効果により、 粒子がさらに低減され、立ち上げ時に高い清浄度の溶剤をウェーハ上に供給 
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