耐薬品性 – フォトリソグラフィー向けユースポイント用フィルターおよびフラッシングシェル
インテグリスのユースポイント用のフィルター、フラッシングシェル、部品類は、耐薬品性の異なるさまざまな材料で構成されています。
以下の耐薬品性表をご確認ください。 詳細やリストにない薬品の耐薬品性については、インテグリスにお問い合わせください。
ご注意:
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも 1 年に 1 回のフィルター交換をお勧めしています。 定期的な交換は、過度な使用で生じる薬液リークの可能性を減少させます。インテグリスの製品保証は出荷日から 1 年です。
フラッシングシェルの使用は、装置立ち上げ時の装置洗浄や配管洗浄などの短期間 (1 か月以内) での使用に限定しており、フィルターの代替としての長期使用、特に溶剤を満たし加圧した状態での長期使用は保証の適用外となります。
溶剤の凡例
Solvent name (Abbreviation) | Solvent name (Full) |
4. Anisole | Methyl phenyl ether, Methoxybenzene |
6. Butyl ether | Dibutyl ether |
9. 2.38% TMAH developer | Tetramethylammonium hydroxide |
12. EEP | Ethyl 3-ethoxypropionate |
18. 2-Heptanone | Methyl amyl ketone |
19. HMDS | Hexamethyldisilazane |
20. IPA | Isopropyl alcohol, 2-Propanol |
21. Isobutyl ketone | 2,6-Dimethyl-4-heptanone, Diisopropylacetone, Diisobutyl ketone (DIBK) |
24. Methyl ethyl ketone | 2-Butanone |
25. MIBC | Methyl isobutyl carbinol |
26. MIBK | Methyl isobutyl ketone, 4-Methyl-2-pentanone |
27. NMP | N-methyl pyrrolidinone |
28. PGEE | Propylene glycol monoethyl ether, 1-Ethoxy-2-propanol |
29. PGME | Propylene glycol monomethyl ether, 1-Methoxy-2-propanol |
30. PGMEA | Propylene glycol monomethyl ether acetate, 1-Methoxy-2-propyl acetate |