Optimizer® ST3 フィルターマニホールド
- フォトリソグラフィ
- 装置内、フォトケミカル、溶剤
仕様書
材質 | 非接液部 | ステンレススチール | |
チューブの接続部、接液部 | PFA | ||
リリースタブ | ポリアセタール | ||
O リング | N/A | ||
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.39 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 40 °C | ||
耐薬品性 | ウェブサイトの 耐薬品性 ページをご確認ください | ||
注意:オプチマイザー ST3 フィルター マニホールドはインテグリスのフィルターおよびフラッシングシェル用に設計、試験されています。インテリス以外の製品を使用した場合、保証の対象外となります。 |
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型番 | 継手タイプ | 入口/出口継手サイズ |
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AM3T22201 | Thin tube type | 1/4" |
AM3T33201 | Thin tube type | 3/8" |
AM3T44201 | Thin tube type | 1/2" |
AM3XL220T | Flowell® 60 elbow | 1/4" |
AM3XL320T | Flowell® 60 elbow | 3/8" |
AM3XL420T | Flowell® 60 elbow | 1/2" |
AM3ZL220T | Flowell® 80EZ elbow | 1/4" |
AM3ZL320T | Flowell® 80EZ elbow | 3/8" |
AM3ZL420T | Flowell® 80EZ elbow | 1/2" |