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198/192 シリーズ 200 mm ウェーハ搬送用キャリア

先進のウェーハ搬送向けに設計されたインテグリスの 200 mm ウェーハキャリアには、従来のローレンジやミッドレンジのウェーハキャリアに比べ、大きな性能上の利点があります。  

  • 正確なウェーハへのアクセス
  • プロセス装置や自動搬送システムとの高い装置互換性
  • ウェーハを汚染や破損から保護
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