Impact® 2 V2 フィルター
- フォトレジストや溶剤などのフォトケミカルのユースポイントろ過
- インパクト 2 マニホールドおよび IntelliGen® (インテリジェン) ディスペンス システムで使用
仕様書
構成部材 | フィルター | UPE、ナイロン、Duo (UPE/ナイロン)、PCM | |
サポートおよび成形部材 | HDPE | ||
O-リング (OFタイプ) | パーフルオロエラストマー | ||
除粒子径 | UPE | ショートタイプ:3 nm ~ 1 µm ロングタイプ:20 nm、0.05 µm | |
ナイロン | 10、20 nm、0.05 µm | ||
Duo (UPE/ナイロン) | 10、30 nm | ||
PCM (表面改質 UPE) | 20 nm | ||
使用条件 | 最高使用入口側圧力 | 0.34 MPa @ 25 °C | |
最大許容正/逆差圧 | 0.27 MPa @ 25 °C | ||
最高使用温度 | 40 °C | ||
膜面積 | UPE | 20 nm | ショートタイプ:1350 cm2 ロングタイプ:2500 cm2 |
0.05 µm | ショートタイプ:1275 cm2 ロングタイプ:2500 cm2 | ||
0.1, 0.2 µm | 1275 cm2 | ||
0.5, 1.0 µm | 1150 cm2 | ||
ナイロン (非対称膜) | 840 cm2 | ||
PCM (非対称膜) | ショートタイプ:1350 cm2 ロングタイプ:2500 cm2 | ||
Duo (UPE/ナイロン) | 850 cm2 | ||
ホールドアップボリューム | 55 mL 以下 | ||
耐薬品性 | ウェブサイトの 耐薬品性 ページをご確認ください | ||
濡れ性 | PGMEA、PGME、およびその他のフォトケミカル溶剤に対し自然に濡れる | ||
適合マニホールド | インパクト 2 マニホールド | ||
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも 1 年に 1 回はフィルター交換することをお勧めしています。 定期的な交換は、過度の使用から生じる薬液リークの可能性を減らします。 また、インテグリスの標準保証期間は出荷日から 1 年です。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 除粒子性能 | メンブレン/メディア | 形状 |
---|---|---|---|
A206200KSP | 0.6 µm | PP | ショートタイプ |
A2AG200K1 | 0.2 µm | UPE | ショートタイプ |
A2AT20MK1 | 10 nm | UPE | ショートタイプ |
A2AV200K1 | 0.1 µm | UPE | ショートタイプ |
A2AX20MK1 | 20 nm | UPE | ショートタイプ |
A2AX2LMK1 | 20 nm | UPE | ロングタイプ |
A2AZ200K1 | 0.05 µm | UPE | ショートタイプ |
A2AZ2LMK1 | 0.05 µm | UPE | ロングタイプ |
A2DT200K1 | 10 nm | UPE/ナイロン(DUO) | ショートタイプ |
A2DY200K1 | 30 nm | UPE/ナイロン(DUO) | ショートタイプ |
A2HV200K1 | 0.1 µm | UPE DI | ショートタイプ |
A2MX20MK1 | 20 nm | UPE PCM | ショートタイプ |
A2NT200K1 | 10 nm | ナイロン | ショートタイプ |
A2NX200K1 | 20 nm | ナイロン | ショートタイプ |
A2NZ200K1 | 0.05 µm | ナイロン | ショートタイプ |
A2SF20MK1 | 5 nm | UPE | ショートタイプ |
A2SK20MK1 | 3 nm | UPE | ショートタイプ |
A2ST20MK1 | 10 nm | UPE | ショートタイプ |
A2UA200K1 | 1 µm | UPE | ショートタイプ |
A2UH200K1 | 0.5 µm | UPE | ショートタイプ |