Microgard™ 高性能ナイロンフィルター
インテグリスの洗浄技術は、ロジックや DRAM で使用されるさまざまなフォトケミカルのアプリケーションにおいて粒子シェディング、金属および有機物抽出をさらに低減するように設計されています。
- フォトレジスト
- 溶剤
- 他の補助的なフォトケミカル
仕様書
材質 | メンブレン: | ナイロン (ポリアミド) | ||
サポート、コア、スリーブ: | HDPE | |||
O リング (規格:AS558-222) | E-FKM (被覆フッ素ゴム) または Kalrez®(カルレッツ) | |||
スタンダード クリーン | ウルトラ クリーン | ウルトラ クリーン プラス | ||
膜面積 | 20 インチタイプ (胴径 70 mm) | 20 nm、10 nm:1.4 m2 | 20 nm、10 nm:1.64 m2 | 5 nm:1.64 m2 |
20 インチタイプ (胴径 83 mm) | 20 nm:2.0 m2 | 20 nm、10 nm:2.62 m2 | – | |
10 インチタイプ (胴径 70 mm) | 20 nm、10 nm、5 nm:0.71 m2 | 20 nm、10 nm:0.82 m2 | 5 nm:0.82 m2 | |
10 インチタイプ (胴径 83 mm) | 20 nm、10 nm:1.0 m2 | 20 nm、10 nm:1.31 m2 | – | |
ディスポーザブル | 20 nm、10 nm:0.14 m2 | 20 nm、10 nm:0.14m 2 | 5 nm:0.17 m2 |
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型番 | 製品タイプ | 除粒子性能 | 長さ | 胴径 | フィルターの洗浄グレード |
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CWNF01PNTUCP | カートリッジ | 5 nm | 10 インチタイプ | 70 mm | ウルトラクリーン プラス |
CWNF01PST | カートリッジ | 5 nm | 10 インチタイプ | 70 mm | 標準 |
CWNF02PNTUCP | カートリッジ | 5 nm | 20 インチタイプ | 70 mm | ウルトラクリーン プラス |
CWNF0S2S1UCP | 小型ディスポーザブル | 5 nm | N/A | N/A | ウルトラクリーン プラス |
CWNT01PNTUC | カートリッジ | 10 nm | 10 インチタイプ | 70 mm | ウルトラクリーン |
CWNT01PST | カートリッジ | 10 nm | 10 インチタイプ | 70 mm | 標準 |
CWNT01XNKUC | カートリッジ | 10 nm | 10 インチタイプ | 83 mm | ウルトラクリーン |
CWNT01XST | カートリッジ | 10 nm | 10 インチタイプ | 83 mm | 標準 |
CWNT02PNTUC | カートリッジ | 10 nm | 20 インチタイプ | 70 mm | ウルトラクリーン |
CWNT02PST | カートリッジ | 10 nm | 20 インチタイプ | 70 mm | 標準 |
CWNT02XNKUC | カートリッジ | 10 nm | 20 インチタイプ | 83 mm | ウルトラクリーン |
CWNT03PST | カートリッジ | 10 nm | 30 インチタイプ | 70 mm | 標準 |
CWNT0S2S1UC | 小型ディスポーザブル | 10 nm | N/A | N/A | ウルトラクリーン |
CWNT0S2S3 | 小型ディスポーザブル | 10 nm | N/A | N/A | 標準 |
CWNX01PNTUC | カートリッジ | 20 nm | 10 インチタイプ | 70 mm | ウルトラクリーン |
CWNX01PNTUCP | カートリッジ | 20 nm | 10 インチタイプ | 70 mm | ウルトラクリーン プラス |
CWNX01PST | カートリッジ | 20 nm | 10 インチタイプ | 70 mm | 標準 |
CWNX01XNKUC | カートリッジ | 20 nm | 10 インチタイプ | 83 mm | ウルトラクリーン |
CWNX01XST | カートリッジ | 20 nm | 10 インチタイプ | 83 mm | 標準 |
CWNX02PNTUC | カートリッジ | 20 nm | 20 インチタイプ | 70 mm | ウルトラクリーン |
CWNX02PST | カートリッジ | 20 nm | 20 インチタイプ | 70 mm | 標準 |
CWNX02XNKUC | カートリッジ | 20 nm | 20 インチタイプ | 83 mm | ウルトラクリーン |
CWNX02XST | カートリッジ | 20 nm | 20 インチタイプ | 83 mm | 標準 |
CWNX0S2S1UC | 小型ディスポーザブル | 20 nm | N/A | N/A | ウルトラクリーン |
CWNX0S2S1UCP | 小型ディスポーザブル | 20 nm | N/A | N/A | ウルトラクリーン プラス |
CWNX0S2S3 | 小型ディスポーザブル | 20 nm | N/A | N/A | 標準 |