Microgard™ UPE/UPX カートリッジ フィルター
- 半導体、薬液製造
- フォトリソグラフィ、設備、薬液製造
- フォトレジスト、フォトケミカル溶剤
- 原材料製造
仕様書
UPE | UPX | ||
---|---|---|---|
材質: | フィルター: | 超高分子量ポリエチレン (UPE) (疎水性) | |
膜面積 | 10": 8500 cm2 | 4": 5000 cm2 | |
20": 17,000 cm2 | 10": 11,000 cm2 | ||
30": 25,500 cm2 | - | ||
サポート、コア、スリーブ | 高密度ポリエチレン (HDPE) | ||
ケムロックキー (キー付きのみ) | PFA | PFA | |
O-リング (AS568-222) | E-FKM または EPDM | E-FKM または カルレッツ | |
除粒子径: | 0.05、0.1、0.2、0.5、1.0 µm | ||
使用条件: | 最大許容正差圧: | 0.35 MPa @ 25 °C | |
最大許容逆差圧: | 0.27 MPa @ 20 °C | ||
使用温度 | 60 °C |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました