ダミーウェーハ
- 成膜
- サイズ: 最大300 mm
- フルラウンド、ノッチ、オリフラを選択可能
仕様書
代表的な材料特性 | |
---|---|
特性: | SUPERSiC-3C |
みかけ密度: | 3.15 g/cm3 |
かさ密度: | 2.55 g/cm3 |
全気孔率:* | 20% |
開放気孔率:** | 0% |
総不純物濃度: | < 10 ppm |
曲げ強度: | 155 MPa |
引張強度: | 129 MPa |
弾性係数: | 217 GPa |
比剛性: | 85 kN.m/g |
ポアソン比: | 0.17 |
動剛性率: | 97 GPa |
硬度: | 1992 kg/mm2 |
熱拡散率: | 100 mm2/s |
熱伝導率: | 170 W/m.K |
常温における瞬間CTE: | 2.4 10-6 /K |
* 空隙は高密度コーティングで密閉されており、プロセスにさらされません。
** 空隙はCVD SiCコーティングで密閉されています。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました