200 シリーズ 200 mm ウェーハ 搬送用キャリア
- 工程内搬送
- 装置互換性
- プロセス用ウェーハの保管
- 製品の仕様
仕様書
ウェーハ収容枚数 | K200-83M-97C02、KA200-81M-47C02、KA200-81MF-47C02、 PA200-81MBK-0615 キャリア: | 26 枚 |
その他のキャリア: | 25 枚 | |
ピンとホール | 特に記載がない限り、トップレール上にあります | |
位置決め用中央ノッチ | 13 番目ポケット中央の脚部 | |
サイドウォール | オープン、クローズ | |
適合保管用ボックス | KA200-85MH-47C02 キャリア: | E99、E210、HA200 保管用ボックス |
KA200-85MT-47C02、PA200-80MT-61C02 キャリア: | E210、HA200 保管用ボックス | |
その他のキャリア: | E210 保管用ボックス |
材料の仕様
STAT-PRO® (スタットプロ) 9000 | 次世代の先端ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリエーテルエーテルケトン (PEEK) とカーボンナノチューブ (CNT) と混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:120 °C | |
ウェーハ温度:340 °C | ||
スタットプロ 3000 | 先端ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
PEEK とカーボンファイバー (CF) を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:120 °C | |
ウェーハ温度:340 °C | ||
スタットプロ 100 | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリプロピレン (PP) とカーボンパウダー (CP) を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C | ||
青色ポリプロピレン | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
着色したポリプロピレン | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C | ||
FluoroSentry® (フロロセントリー) | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリブチレンテレフタレート (PBT) とカーボンファイバーを混合した材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:95 °C |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
Cassette Molded Options
Carrier ID Option
型番 | ウェーハ収容枚数 | エンドウォールハンドルタイプ | 色 | IDオプション | 材質 | エンドウォール フランジタイプ | ピンとホール | サイドウォール |
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FA200-85MT-7902 | 25 | N/A | 黒 | なし | FluoroSentry® | Cスタイル | あり | オープン |
FA200-85MTRM-7902 | 25 | N/A | 黒 | RFID | FluoroSentry® | Cスタイル | あり | オープン |
K200-79MDT1-97C02 | 25 | N/A | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | ワイドフランジおよびインフランジ | なし | オープン |
K200-79MTH1-97C02 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | Cスタイル | なし | オープン |
K200-79MTHP-97C02 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | Cスタイル | あり | オープン |
K200-83M-97C02 | 26 | N/A | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | Cスタイル | あり | クローズ、底部に洗浄用スロット付 |
KA200-80MH-47C02 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000 | ワイドフランジ (45°) | なし | オープン |
KA200-80MH-47C05 | 25 | 標準、ハイポジション | 緑 | なし | STAT-PRO® 3000 | ワイドフランジ (45°) | なし | オープン |
KA200-81M-47C02 | 26 | N/A | 黒 | カードホルダー あり | STAT-PRO® 3000 | 標準 | なし | クローズ、底部に洗浄用スロット付 |
KA200-81MF-47C02 | 26 | N/A | 黒 | カードホルダー あり | STAT-PRO® 3000 | ワイドフランジ (45°) | なし | クローズ、底部に洗浄用スロット付 |
KA200-85MH-47C02 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000 | ワイドフランジ (45°) | なし | オープン |
KA200-85MIM-47C02 | 25 | N/A | 黒 | カードホルダー あり、トールピンチ | STAT-PRO® 3000 | ワイドフランジおよびインフランジ | なし | オープン |
KA200-85MT-47C02 | 25 | N/A | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000 | Cスタイル | あり | オープン |
KA200-85MTH-47C02 | 25 | ラージサイズ、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000 | Cスタイル | あり | オープン |
PA200-79MDT-61C02 | 25 | N/A | 黒 | カードホルダー あり、トールピンチ | STAT-PRO® 100 | ワイドフランジおよびインフランジ | なし | オープン |
PA200-79MDTH-61C02 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | カードホルダー あり、トールピンチ | STAT-PRO® 100 | ワイドフランジおよびインフランジ | なし | オープン |
PA200-80MD-61C02 | 25 | N/A | 黒 | なし | STAT-PRO® 100 | ワイドフランジおよびインフランジ | なし | オープン |
PA200-80MG-61C02 | 25 | ラージサイズ、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 100 | Cスタイル | あり | オープン |
PA200-80MT-0603 | 25 | N/A | 青 | なし | ポリプロピレン | Cスタイル | あり | オープン |
PA200-80MT-61C02 | 25 | N/A | 黒 | なし | STAT-PRO® 100 | Cスタイル | あり | オープン |
PA200-80MTF-61C02 | 25 | N/A | 黒 | なし | STAT-PRO® 100 | Cスタイル | あり | オープン |
PA200-81MBK-0615 | 26 | N/A | Natural/Translucent | バーコード | ポリプロピレン | 標準 | なし | クローズ、底部に洗浄用スロット付 |