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半導体装置製造

 

 

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAMメモリの高密度化に伴い、汚染と欠陥に対する感度はデバイス性能に大きく影響します。最適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイントまでの高い性能において、材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。

多額の設備投資を行っている半導体工場に到着した薬品はコンテナから抜き取られ、ろ過を経て、工場全体に供給されますが、その間、薬品の清浄度を維持し、汚染物質が混入しないようにする必要があります。インテグリスと協働することで、お客様がコンポーネントの清浄性を評価し、最もクリーンな薬品の供給、フィルター、計測器、流体制御システムを揃えるお手伝いができます。装置に適したソリューションを選択することで、受け入れた薬品の清浄度がシステム全体で確実に維持されることが保証され、その結果、デバイスの性能と歩留まりが改善されます。

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製造からユースポイントまでの清浄な薬品の移送におけるコンタミネーション ポイントの削減

This paper takes a closer look at ways to more comprehensively meet increasing purity specifications throughout chemical and device manufacturing.

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