基板 - 洗浄


アルミニウムやガラス基板の洗浄において清浄度を維持し、生産性を向上させる信頼性の高いソリューション

弱酸や弱アルカリ、洗剤、純水、腐食性の高い水溶系薬品などによる基板洗浄プロセス向けに、清浄度を維持し、プロセス制御を向上するための多数のソリューションを提供しています。 バルブ、継手、チューブ、パイプ、流量計、液体用フィルター、圧力レギュレータなど、インテグリスの液体ろ過やPFA製の流体制御製品のラインアップは、お客様のプロセス材料およびパラメータの再現性と安定性を高め、歩留まりを向上させ、コストを削減します。