基板 – ポリッシング


厳しい仕様に対応できる精密研磨向けの効率的で費用対効果の高いソリューション

基板の研磨は、研磨材を徐々に細かくして段階的に行われます。 インテグリスのCMPパッドコンディショナー、液体用フィルター、流体制御製品は、厳しい仕様を、高い再現性で効率的に満たすことができます。