CMP


コンタミネーションコントロール、クリーンな液送、高度な平坦化性能を実現するソリューション

お客様の運用コストを削減し、作業効率を最大化することで、重要なCMP工程をサポートします。インテグリスは、スラリーおよびCMP後洗浄におけるパーティクルを低減し、清浄度を維持するためのさまざまな液体用フィルター、エアフィルター、パッドコンディショナー、洗浄液、流体制御製品を提供しています。