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  • ウェーハの再生

流体管理

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    • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

    • FluoroPure® 複合ドラム

    • FluoroPure®カスタム製品

  • NOWPak®ライナーベースシステム

  • Sentry®クイックコネクトシステム

  • FluoroPure®中間バルクコンテナ

  • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

  • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

  • FluoroPure®圧力容器

  • プロセスタンク

• 流体のハンドリング

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    • Flaretek®用アクセサリ

    • Cynergy®継手

    • Cynergy®用アクセサリ

    • EP PFAフレア継手

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    • PureBond®溶着チューブ継手

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    • Quikgrip® PFAナット

    • インテグラルフルール チューブ継手

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    • PFA製 バーブ継手

    • 二重配管継手

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    • PureBond®アクセサリ

    • NPTパイプ継手

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  • バルブ

    • CR および CH バルブ

      • CR4シリーズ バルブ

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      • CH8シリーズ 高温用バルブ

      • CRE4 Series Valves

      • CRE8 Series Valves

    • Integra®バルブ

    • EP PFAバルブ

    • マニホールドおよびアッセンブリー

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    • ニードル/計量バルブ

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    • バルブ用 アクセサリ

    • Integra® Plus WS ESD Valves

  • 流体制御用の補助製品

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  • バルブ 選択ツール

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  • チューブおよびパイプ

  • カスタム製品

• プロセスのモニタリング

  • プロセスの制御

    • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

    • NT™ 流量制御バルブ

    • フォトケミカル ディスペンス システム

  • プロセスの管理

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  • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

• ガスピューリファイヤー

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液体のろ過、精製

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特殊ガス

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ウェーハハンドリング

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  • 125 mmウェーハ用出荷容器

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  • 3インチ ウェーハ用出荷容器

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• 完成品ウェーハ用 出荷容器

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  • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

  • フィルムフレームシッパー および リング

関連資料

技術情報

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• Entegris Test Standards and Protocols

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• Chemlock® Filter Housing Technical Information

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