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Wafergard® (ウェハーガード) GN ガスフィルターガンは、ナイロン製ボディで軽量かつ扱いやすいデザインのエアガンです。0.003µm以上の粒子を除去できるカートリッジフィルターは、交換が容易です。
産業
  • 半導体
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • 入口: NPTメス
  • NPTメス
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