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  • 配線技術
  • 業種
ESC 784 は、銅配線工程における疎水性膜の洗浄用に特化して開発された費用対効果に優れた洗浄液です。この洗浄液はCMPプロセスで生成される汚染物質を除去する高pH組成を活用しており、同時に銅基板の腐食も防ぎます。
配線技術
  • Cu
  • Al
  • WLP
テクノロジーノード(nm)
  • 130
  • 90
  • 65
  • 45
  • 40
  • 32
  • 28
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
ESC T794は、銅配線工程における疎水性膜の洗浄用に特化して開発された費用対効果に優れた洗浄液です。この洗浄液はCMPプロセスで生成される汚染物質を除去する高pH組成を活用しており、同時に銅基板の腐食も防ぎます。
配線技術
  • Cu
テクノロジーノード(nm)
  • 130
  • 90
  • 65
  • 45
  • 40
  • 32
  • 28
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP後
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