是非ご参加ください
インテグリスは、ICPT 2023のダイヤモンドスポンサーおよびプレゼンターを務めます。当社のプレゼンテーションでは、CMPアプリケーション全般にわたる新しいソリューションをご紹介します。当社には、シングルソースのソリューションを提供し、互換性の無い化学薬品や消耗品による不必要な汚染リスクを排除できる独自の技術があります。現在の最先端のチップ設計が将来の主力商品になるにつれて、シングルソーシングはすべてのファブに多大なメリットをもたらします。
注目のプレゼンテーション
口頭発表
015 C08 11月1日 (水曜日) 9:05
『高度なろ過方法によるFPCの削減を通じた歩留まりの向上』
Entegris Singapore Pte./アプリケーション開発エンジニア/Yu-Chieh Fu
Yu-Chieh Fuは、インテグリスのアプリケーション開発エンジニアとして、半導体製造パートナー向けに高度なフィルターの評価と最適化を担当しています。また、ユーザーのトレーニング、CMPプロセスにおけるろ過問題のトラブルシューティング、新製品導入のスピードアップを支援するためのカスタマイズされた実験も行っています。インテグリス入社前は、PTTCでは材料研究開発エンジニアとして、TSMCでは薄膜プロセスエンジニアとして勤務していました。国立成功大学マテリアルサイエンス修士課程修了。
ポスター発表
P49 C08 | 10月31日 (火曜日) 16:00
『研磨剤のサイズと濃度に応じたフィルター孔径範囲』日本インテグリス合同会社/アプリケーションエンジニア/
橋迫史明
P57 C08 | 11月1日 (水曜日) 16:40
『スラリー研磨材のpH調整とシステムろ過への影響 』Entegris, Inc./アプリケーションエンジニアリングマネージャー/
Bradley Wood