プロセスの制御
超高純度で腐食性の薬液環境における、信頼性の高い直線性に優れた比例制御とユースポイントでの高精度な薬液の調合と吐出。
実績ある InVue® (インビュー) 流量コントローラは、差圧式流量測定技術と高度なクローズドループ制御により、ユースポイントでの高精度な調合と吐出を可能にします。NT™ 比例制御バルブは、腐食性の高い薬液にも耐性があり、CMP スラリーや超高純度のアプリケーションにも最適です。
超高純度で腐食性の薬液環境における、信頼性の高い直線性に優れた比例制御とユースポイントでの高精度な薬液の調合と吐出。
実績ある InVue® (インビュー) 流量コントローラは、差圧式流量測定技術と高度なクローズドループ制御により、ユースポイントでの高精度な調合と吐出を可能にします。NT™ 比例制御バルブは、腐食性の高い薬液にも耐性があり、CMP スラリーや超高純度のアプリケーションにも最適です。