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GateKeeper® Z3シリーズ ガス精製システム

GateKeeper® (ゲートキーパー) ガス精製システム(GPS) Z3シリーズは、インテグリス最新の自動再生型ガス精製システムです。この最先端のガス精製技術は、ドライおよび液浸型リソグラフィ装置で使用するパージガスを精製するための革新的、効率的、費用対効果も高いソリューションを半導体製造メーカーに提供します。

  • pptレベルまで精製
  • 低圧力損失のため、入口圧力の変更が不要
  • 自動再生式ピューリファイヤー
  • コストオブオーナーシップを削減
  • 常温精製
  • 電源が落ちても影響を受けない
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