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MegaTorr® PS21 アンモニアガス 精製装置

信頼性が高く、低コストで、高性能な自動再生型 PS21 バルクガス精製装置は、さまざまな不純物を効率的に除去します。

  • 半導体向けの超高純度ガス用に設計された吸着式の装置です
  • 吸着筒が吸着(精製)と再生の 2 筒交互運転で連続的に精製を行います
  • 吸着剤の再生は、高温で精製した窒素 (N2) と低濃度の水素 (H2)  の混合ガスを逆流させて行い、再生した筒は、使用前にアンモニウム (NH3) で再調整します
  • 最適化された設計により、省フットプリントで、最大 1,667 slpm (100 Nm3/hr) の流量とサブ ppb レベルの性能を提供します
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