固体材料供給 システム
- AlCl3
- 331.31 mm (13.04") H
- 243.84 mm (9.6") W
- Tokyo Electron TELINDY™
- Lam® Research
- 半導体
- 230mm (9") W
- 372.40 mm (15") H
- ラムリサーチ
- 半導体
- CVD
- ALD
- HfCl4
- ZrCl4
- 139.7 mm (5.5") W
- 257 mm (10.12") H
- ASM Pulsar®
- 半導体
- MoO2Cl2
- AlCl3
- Tokyo Electron TELINDY™
- Lam® Research
- ASM Pulsar®
- Semiconductor
- ALD
- CVD