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IntelliGen® LV ディスペンスシステム

IntelliGen® (インテリジェン) LVディスペンスシステムは、フィルターを介してPTセンサーを2箇所に内蔵した新しい2ステージテクノロジー採用の低粘度薬液のディスペンスシステムです。

1 - 100 mPa･sの低粘度なフォトケミカルまたは0.20 MPa以下のディスペンス圧力で運転可能な粘度の薬液のディスペンスが可能です。
ろ過性能の影響を受けずに信頼性の高い低粘度 (1 - 100 mPa･s)薬液のディスペンスが可能です
新しいMMIソフトウェアは、レシピのプログラミングとフィルターの立ち上げを簡素化でき、リアルタイムの情報が得られます
優れたエラー検知機能により、コストのかかるウェーハのディフェクトを最小化します

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アプリケーション IntelliGen® LV ディスペンスシステムアプリケーション

低粘度(1～100 mPa･s) のフォトケミカルのディスペンス

仕様書

寸法図

表示の寸法は、すべてのインテリジェン LVディスペンスシステムの継手構成で共通です。

性能データ

このグラフは、200回ディスペンスを行ったときのディスペンス繰り返し精度を示しています。試験にはPGMEAを使用し、ディスペンスレート0.7 mL/s、3σ定格0.006 mLでインパクトフィルターでろ過しました。ディスペンス量の上限は4.050 mL、下限は4.010 mLで、平均ディスペンス量は4.030 mLでした。

製品の仕様

性能:	ディスペンス量	0.1 - 10 mL (0.001 mL単位)
	ディスペンスレート	0.1 - 3.0 mL/sec (0.001 mL/sec単位)
	繰り返し精度	≤0.02 mL (3σ)
	薬液粘度*	1～100 mPa･s、または吐出圧が0.20 MPa以下で運転可能な粘度
	最大ディスペンス圧**	0.20 MPa
リチャージ性能:	フィルトレーションレート、フィルレート、ベントレート、パージレート	0.1 - 3.0 mL/sec (0.01 mL/sec単位)
	ベント頻度	ディスペンス1 - 10000回の範囲で任意設定または自動ベント
機構部:	接液部材質	変性PTFE、PTFE、カルレッツ
	接続	インサート式のスーパータイプピラーまたはフロウエル 60シリーズ
	適合フィルター	インパクト8Gまたはインパクト2 V2 (OFタイプ)
	入口、出口、ベントのチューブ	外径	6.35 mmまたは6 mm
		内径	3.97 mmまたは4 mm
	使用ガス	入口ガス種類	圧力調整済みのN₂またはCDA
		入口ガス圧力	0.26 - 0.28 MPa
	バキューム	- 68 kPa
寸法:	高さ	200.1 mm
	幅	60.7 mm
	奥行き	209.17 mm
重さ:	約5 kg
駆動電源:	定格電流	1.25 A
	入力電圧(システム)	24 VDC ±10%
	シリアル通信	使用するインターフェイスモジュールの種類による
	パラレル通信	トリガーおよびACK
認証:	付属の説明書を参照してください
環境:	クリーンルーム相当の環境のみ
	標高: 2000 mまで
	周囲温度: 5 - 40°C
	最大相対湿度: 80% @ < 31°C、50% @ 40°C
	電源変動: 22 - 26 VDC
	過渡過電圧のカテゴリーII

^* 装置の構成により異なります。詳しくはお問い合わせください。
^** 値は理論上の最大値です。実際のディスペンス量やレートは、粘度、配管径、配管長、および配管高さによる圧力降下によって規制される場合があります。

ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました

型番	継手タイプ	ケーブル長さ	コネクタ
IGLVPVAP1	6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar®	3.0 m	D-Sub 15ピン
IGLVPVAW1	6.35 mm (1/4")インサート式Flowell™ 60シリーズ	3.0 m	D-Sub 15ピン
IGLVPVBP1	6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar®	1.25 m	RDS01コネクタ
IGLVPVCP1	6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar®	0.8 m	D-Sub 15ピン
IGLVPVGP1	6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar®	0.10 m	D-Sub 15 pin, 3 lines
IGLVPVHP2	6 mmスーパータイプPillar®	1.25 m	D-Sub 15ピン
IGLVPVJP2	6 mmスーパータイプPillar®	10.0 m	D-Sub 15ピン

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仕様書

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