PDMPak® ボトル
- フォトリソグラフィ材料
- 高粘度薬液
- 銅メッキ添加剤
- 高純度パッケージを必要とする材料や外部環境の影響を受けやすい材料
仕様書
定格容量 | PK-01-A4-T420-1:1 L | |||||||
PK-04-A4-T420-1:4 L | ||||||||
注: 定格容量以上に充填しないでください。送液システムに対応するためオーバーヘッド容量を考慮した設計となっています。実際の容量は、プロセス問題とオーバーフローの可能性を排除して PDM パックに充填できる量となります。 | ||||||||
アッセンブリーの標準重さ (テンポラリーキャップ* を含む) |
1 L:0.29 kg | |||||||
4 L:0.76 kg | ||||||||
UV 保護 | 波長 190 ~ 400 nm の領域において 0.1 % 未満 | |||||||
UN 分類 | インテグリス専用梱包箱との組み合わせにて(UN4G/Y – 4 L サイズのみ) | |||||||
オーバーパックネックスレッドタイプ | 修正型 63 mm のこ歯ねじ、4.24 mm ピッチ | |||||||
加圧送液仕様 | PDMPak は定格圧力容器です | |||||||
最高使用圧力:ゲージ圧 101.4 kPa | ||||||||
製造国 | 米国 | |||||||
材質 | オーバーパック | ブロー成形 HDPE | ||||||
ライナー | PTFE フィルム | |||||||
フィットメント | 射出成形ナチュラルバージン PFA | |||||||
リテーナー | 射出成形ナチュラルバージン HDPE | |||||||
テンポラリーキャップ | 射出成形赤色 LDPE | |||||||
製造標準 | 本製品は、国際標準ISO 14644-1:1999、『クリーンルーム及び、これに関連する制御された環境』–パート1: 「清浄度クラス」に基づくクラス5クリーンルームで組み立て、検査されるものとします。 | |||||||
フィルム、シール欠陥検査 | ライトテーブルによる外観検査 | |||||||
ライナーリーク検査** | 圧力保持試験 | |||||||
ライナー確認検査*** | 加圧バーストテスト | |||||||
溶着引張強度検査 | ||||||||
パーティクル検査 | 超純水による液中パーティクル検査 | |||||||
清浄度 | PDMPakはパーティクル保証のライナーを使用しています | |||||||
60 nm 以上の粒子が 125 個/mL 以下 | ||||||||
80 nm 以上の粒子が 55 個/mL 以下 | ||||||||
100 nm 以上の粒子が 20 個/mL以下 | ||||||||
出荷ロットごとにパーティクル数データを示す分析証明書を取得できます。 | ||||||||
溶出微量元素 | 製品は 5 % 硝酸を用いての記載の溶出微量元素の総量が 1.3 ppb (parts per billion)以下です。微量元素としてAg、Al、As、B、Ba、Bi、Ca、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、In、K、Li、Mg、Mn、Na、Ni、Pb、Si、Sn、Sr、Ti、V、W、Zn を報告しています。出荷ロットごとにパーティクル数データを示す分析証明書を取得できます。 | |||||||
総シロキサン**** | 製品で 0.915 ppb を超えないこと | |||||||
総揮発性有機化合物**** | 製品で 16.774 ppb を超えないこと | |||||||
梱包 | PDMPak ボトルはポリエチレン袋で二重梱包され、結束バンドで閉じられます。 | |||||||
二重梱包された PDMPak ボトルは、出荷用段ボールに収納されます。 | ||||||||
梱包形態 | 1 L サイズ | 4 L サイズ | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
箱入数 | 30 | 6 | ||||||
スキッド入数 | 450 (30 個入り 15 箱) | 150 (6 個入り 25 箱) | ||||||
箱寸法(mm) | 奥行 851 mm x 幅 343 mm x 高さ 324 mm | 奥行 660 mm x 幅 457 mm x 高さ 356 mm |
* テンポラリーキャップの重さ 7 g
** 検査は全ライナーに実施
*** 検証はサンプリングで実施
**** 総シロキサンおよび揮発性有機化合物の仕様は、4 L サイズの PDMPak ボトルシステムおよび交換用ライナーにのみ適用されます
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
Using the SmartCap™ and IntelliCap™ Tear Tab Removal Tool
This video shows how to use Entegris' NA-47 tear tab removal tool on a SmartCap or IntelliCap closure for our NOWPak bottle system. Runtime: 00:16
型番 | サイズ |
---|---|
PK-01-A4-T420-1 | 1 L |
PK-04-A4-T420-1 | 4 L |