Fluorogard® NX フィルター
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CAD
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アプリケーション
- 半導体やディスプレイ製造のアプリケーションにおける中～高流量の薬液向け
- 洗浄・剥離 (WEC) アプリケーションのシングルパスや循環プロセス
- バルク薬液製造
- 薬液供給システム (BCDS)
- 反応性の高い水系薬品
- 先端の溶剤
注意：フロロガード NX フィルターは、SPM、SC1、SC2 などの高発泡性プロセスには推奨しません。 このようなアプリケーションには、QuickChange® (クイックチェンジ) NX フィルターを推奨します。
仕様書
NXT カートリッジフィルター |
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| カートリッジ長さ | A 寸法 | B 寸法 | C 寸法 |
| 4 インチタイプ | 132.3 mm | 115.0 mm | 113.0 mm |
| 10 インチタイプ | 262.3 mm | 245.0 mm | 243.0 mm |
| 20 インチタイプ | 498.3 mm | 481.0 mm | 479.0 mm |
| 30 インチタイプ | 738.0 mm | 721.0 mm | 719.0 mm |
NXE カートリッジフィルター |
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| カートリッジ長さ | A 寸法 | B 寸法 | C 寸法 |
| 10 インチタイプ | 244.0 mm | 227.0 mm | 225.0 mm |
| 20 インチタイプ | 471.0 mm | 454.0 mm | 452.0 mm |
| 30 インチタイプ | 699.5 mm | 682.0 mm | 681.0 mm |
| NXT カートリッジ | NXE カートリッジ | ||
|---|---|---|---|
| 材質 | メンブレン | PTFE (疎水性) | |
| サポート、コア、スリーブ、エンドキャップ、 Chemlock® (ケムロック) キー |
PFA | ||
| O リング | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、被覆 ETP (E-ETP)、または Kalrez® (カルレッツ) | ||
| 除粒子性能 | 0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、5、10 µm、15、30 nm | 0.05、0.1、0.2、0.5 µm 、15、30 nm | |
| 膜面積 | 4 インチタイプ：0.36 m2 | 10 インチタイプ：2.1 m2 | |
| 10 インチタイプ：0.9 m2 | 20 インチタイプ：4.2 m2 | ||
| 20 インチタイプ：1.8 m2 | 30" インチタイプ: 6.3 m2 | ||
| 30 インチタイプ：2.7 m2 | |||
| 金属抽出物 | 23 種の金属分析を実施 | ||
| 使用条件 | 最高使用圧力 | 0.58 MPa @ 25 °C | |
| 最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25 °C 0.05 MPa @ 180 °C |
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| 最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25 °C | ||
| 最大使用温度 | 180 °C | ||
| 注意：親水化処理品は、0.9 % H2O2 封入で出荷します。適切な使用と取り扱いにつきましては、インテグリスまでお問い合わせください。フロロガード NX フィルターは、PFOA フリーで、親水化処理品の保存期間は 1 年です。 | |||
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