Guardian™ DEV/HPM フィルター
- アルカリ現像液
仕様書
| モデル: | ガーディアン DEV カートリッジ、ガーディアン Plus HPM カートリッジ、ガーディアン DEV HPX ディスポーザブル | |
| 材質: | フィルター | 親水性 超高分子量ポリエチレン |
| サポート、スリーブ、コア、エンドキャップ | 高密度ポリエチレン | |
| O-リング (コード0、AS568-222) (カートリッジのみ) | DEVカートリッジ: EP、E-FKM、カルレッツ 4079 Plus HPM カートリッジ: E-FKM、FER | |
| ハウジング (ディスポーザブル) | ポリプロピレン | |
| 除粒子径: | 0.05、0.1 µm | |
| 膜面積: | DEV カートリッジ | 10": 0.85 m2、20": 1.7 m2、30": 2.55 m2 |
| Plus HPM カートリッジ | 10": 1.9 m2、20": 3.8 m2、30": 5.7 m2 | |
| DEV HPX ディスポーザブル | 1.1 m2 | |
| 使用条件: | 最大許容正差圧 | DEV カートリッジ: 0.35 MPa @ 25 °C Plus HPM カートリッジ: 0.24 MPa @ 25 °C DEV HPX ディスポーザブル: 0.35 MPa @ 20 °C |
| 最大許容逆差圧 | DEV カートリッジ: 0.25 MPa @ 25 °C Plus HPM カートリッジ: 0.24 MPa @ 25 °C DEV HPX ディスポーザブル: 0.25 MPa @ 20 °C | |
| 最高使用圧力 | Plus HPM カートリッジ: 0.34 MPa @ 25 °C DEV HPX ディスポーザブル: 0.69 MPa @ 20 °C | |
| 最高使用温度 | 60 °C | |
| 対応薬液: | 水酸化アンモニウム、TMAH、常温の有機レジスト剥離液での使用を推奨しています。 過酸化水素または芳香族炭化水素を含む薬液での使用は推奨できません。 | |
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| 型番 | 形状 | 流量 | ケムロックキー | O-リング | 接続 | 長さ | 除粒子性能 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CHUV01PLE | カートリッジ | 低流量 | なし | EPR | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUV01PLEK | カートリッジ | 低流量 | あり | EPR | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUV01PLKK | カートリッジ | 低流量 | あり | Kalrez® 4079 | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUV01PLT | カートリッジ | 低流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUV01PLTK | カートリッジ | 低流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUV02PLE | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | EPR | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUV02PLT | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUV03PLE | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | EPR | コード0、ダブル2-222 | 30 インチタイプ | 0.1 µm |
| CHUZ01PLE | カートリッジ | 低流量 | なし | EPR | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| CHUZ01PLEK | カートリッジ | 低流量 | あり | EPR | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| CHUZ01PLK | カートリッジ | 低流量 | なし | Kalrez® 4079 | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| CHUZ01PLT | カートリッジ | 低流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| CHUZ01PLTK | カートリッジ | 低流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| CHUZ02PLE | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | EPR | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| CHUZ02PLT | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| CHUZ03PLE | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | EPR | コード0、ダブル2-222 | 30 インチタイプ | 0.05 µm |
| GDDVDEV0F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中流量 | N/A | N/A | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GDDZDEV0F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中流量 | N/A | N/A | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GDDZDEV2F | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 中流量 | N/A | N/A | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GDPGHPXTH | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 中流量 | N/A | N/A | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.2 µm |
| GHPG01P01 | カートリッジ | 中流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.2 µm |
| GHPG01PLT | カートリッジ | 低流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.2 µm |
| GHPG02P01 | カートリッジ | 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.2 µm |
| GHPG02PLT | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.2 µm |
| GHPG0SP01 | カートリッジ | 低流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 4" | 0.2 µm |
| GHPV01P01 | カートリッジ | 中流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV01P01K | カートリッジ | 中流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV01PK1 | カートリッジ | 中流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV01PK1K | カートリッジ | 中流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV01PLT | カートリッジ | 低流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV01PLTK | カートリッジ | 低流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV02P01 | カートリッジ | 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV02P01K | カートリッジ | 高流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPV02PLTK | カートリッジ | 中 - 高流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.1 µm |
| GHPZ01P01 | カートリッジ | 中流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ01P01K | カートリッジ | 中流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ01PK1 | カートリッジ | 中流量 | なし | Kalrez® 4079 | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ01PK1K | カートリッジ | 中流量 | あり | Kalrez® 4079 | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ01PLT | カートリッジ | 低流量 | なし | E-FKM | — | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ01PLTK | カートリッジ | 低流量 | あり | E-FKM | — | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ02P01 | カートリッジ | 高流量 | なし | E-FKM | — | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ02PLT | カートリッジ | 中 - 高流量 | なし | E-FKM | — | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| GHPZ02PLTK | カートリッジ | 中 - 高流量 | あり | E-FKM | — | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCV01M01 | カートリッジ | 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GUCV01M01K | カートリッジ | 高流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GUCV01MT1 | カートリッジ | 高流量 | なし | FER | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GUCV01MT1K | カートリッジ | 高流量 | あり | FER | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
| GUCV02M01K | カートリッジ | 高流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.1 µm |
| GUCZ01M01 | カートリッジ | 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ01M01K | カートリッジ | 高流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ01MR1K | カートリッジ | 高流量 | あり | W240UP | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ01MT1 | カートリッジ | 高流量 | なし | FER | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ01MT1K | カートリッジ | 高流量 | あり | FER | コード0、ダブル2-222 | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ02M01 | カートリッジ | 高流量 | なし | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ02M01K | カートリッジ | 高流量 | あり | E-FKM | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ02MT1 | カートリッジ | 高流量 | なし | FER | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.05 µm |
| GUCZ02MT1K | カートリッジ | 高流量 | あり | FER | コード0、ダブル2-222 | 20 インチタイプ | 0.05 µm |