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Optimizer® Dフィルター

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Optimizer® (オプチマイザー) D フィルタ―は、180 nm から 10 nm 以下のテクノロジーノードにおいて、優れた除粒子性能発揮する省ホールドアップボリュームのユースポイント向けフォトケミカル用フィルターです。

プロセス用薬品の試験や粒子評価用で費用対効果に優れ、量産への移行が可能
最適化されたフィルターは、粒子を逃すことなくしっかり保持し、フォトレジストなどのプロセス薬品のろ過を改善
親水化処理不要な UPE メンブレンは、潜在的なマイクロバブルの発生原因を減少させ、不完全な濡れや親水化処理に伴う薬液の化学反応を回避

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メンブレン/メディア

フィルターの洗浄グレード

リソグラフィ技術

除粒子性能

Membrane Area

接続

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アプリケーション Optimizer® Dフィルターアプリケーション

フォトリソグラフィープロセスのフォトレジスト
バルク薬液製造におけるプロセス用薬品
装置内、ディスペンスポイント

仕様書

寸法図

性能データ

製品の仕様

材質	メンブレン：	D、D300/D600、D PR/D PR-L：超高分子量ポリエチレン (UPE) (疎水性、対称膜)
		D LE：UPE (疎水性、非対称膜)
	コア：	D/D LE、D300/D600：高密度ポリエチレン (HDPE)
		D PR/D PR-L：ポリプロピレン (PP)
	サポート：	D/D LE、D300/D600：HDPE
	ハウジング：	D/D LE、D300/D600、D PR/D PR-L: HDPE
		D PR/D PR-L：PP
接続	入口/出口：	D/D LE、D300/D600、D PR/D PR-L：6.35 mm (1/4") コンプレッションシール
		D PR-L：9.53 mm (3/8") コンプレッションシール
	ベント/ドレン：	D/D LE、D PR/D PR-L：6.35 mm (1/4") コンプレッションシール
		D300/D600：3.18 mm (1/8") コンプレッションシール
膜面積	D/D LE 10 nm：	2600 cm²
	D/D LE 20 nm：	2200 cm²
	D/D LE 30 nm：	1600 cm²
	D/D LE 0.05、0.1、0.2 µm：	ショートタイプ 1800 cm²
		ロングタイプ 3100 cm²
	D/D LE 3、5、10 nm*：	ショートタイプ 2300 cm²
		ロングタイプ 4000 cm²
	D300：	300 cm²
	D600：	600 cm²
	D PR：	1800 cm²
	D PR 20 nm：	2200 cm²
	D PR 30 nm：	1900 cm²
	D PR-L：	3600 cm²
除粒子径	D (対称膜)：	10、20、30 nm、0.05、0.1、0.2 µm
	D LE (非対称膜)：	3、5、10 nm
	D300/D600：	10、20 nm、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0 µm
	D PR/D PR-L：	20、30 nm、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0 µm
使用条件	最高使用圧力：	0.34 MPa @ 25 °C
	最大許容正差圧/逆差圧：	D/D LE、D PR/D PR-L：0.27 MPa @ 25 °C
		D300/D600：0.24 MPa @ 25 °C
	最高使用温度：	60 °C
*10 nm は D LE のみ ※インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも 1 年に 1 回のフィルター交換をお勧めしています。定期的な交換は、過度な使用で生じる薬液リークの可能性を減少させます。インテグリスの製品保証は出荷日から 1 年です。

ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました

関連資料製品資料

公開 Apr 1, 2022 Data Sheet Optimizer® Filters

645.5 kB

公開 Jul 1, 2021 Brochure Chasing the Perfect Pattern

1.4 MB

型番

Optimizer® Dフィルター型番

型番	形状	メンブレン/メディア	フィルターの洗浄グレード	リソグラフィ技術	除粒子性能	Membrane Area	接続
CWAG031S2	D300	UPE	標準	KrF	0.2 µm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAG061S2	D600	UPE	標準	KrF	0.2 µm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAG0L0S1	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.2 µm	3600 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAG0S0P1	DPR	UPE	標準	KrF	0.2 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWAG0S0S1	DPR	UPE	標準	KrF	0.2 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAG0S1S1	D	UPE	標準	KrF	0.2 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAG0S1S3	ショートカプセル	UPE	標準	KrF	0.2 µm	—	—
CWAT031S2	D300	UPE	標準	液浸	10 nm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAT061S2	D600	UPE	標準	液浸	10 nm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAT0S1S1M	D	UPE	標準	液浸	10 nm	2600 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAT0S1S3M	D	UPE	標準	液浸	10 nm	2600 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAV031S2	D300	UPE	標準	KrF	0.1 µm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAV061S2	D600	UPE	標準	KrF	0.1 µm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAV0L0S1	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.1 µm	3600 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAV0S0P1	DPR	UPE	標準	KrF	0.1 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWAV0S0S1	DPR	UPE	標準	KrF	0.1 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAV0S1S3	D	UPE	標準	KrF	0.1 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAV3L0HC	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.1 µm	3800 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAV3L0S1	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.1 µm	3600 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAX031S2	D300	UPE	標準	ArF	20 nm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAX061S2	D600	UPE	標準	ArF	0.02 µm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAX0L0S1M	DPR-L	UPE	標準	ArF	20 nm	4400 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAX0S0P1	DPR	UPE	標準	ArF	20 nm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWAX0S1S3	D	UPE	標準	ArF	20 nm	2200 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAX3L0S1M	DPR-L	UPE	標準	ArF	20 nm	4400 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAY0S0P1	DPR	UPE	標準	ArF	0.03 µm	1900 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWAY0S1HC	ショートカプセル	UPE	標準	ArF	0.03 µm	—	—
CWAY0S1S3	D	UPE	標準	ArF	0.03 µm	1600 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAY3L0HC	DPR-L	UPE	標準	ArF	0.03 µm	3800 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAZ031S2	D300	UPE	標準	KrF	0.05 µm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAZ061S2	D600	UPE	標準	KrF	0.05 µm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWAZ0L0S1	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.05 µm	3600 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAZ0S0P1	DPR	UPE	標準	KrF	0.05 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWAZ0S0S1	DPR	UPE	標準	KrF	0.05 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAZ0S0X1	DPR	UPE	標準	KrF	0.05 µm	1900 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flowell™ 60 fittings
CWAZ0S1HC	ショートカプセル	UPE	標準	KrF	0.05 µm	—	—
CWAZ0S1S3	ショートカプセル	UPE	標準	KrF	0.05 µm	1800 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAZ3L0HC	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.05 µm	3800 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAZ3L0S1	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.05 µm	3600 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWAZ3L0ST	DPR-L	UPE	標準	KrF	0.05 µm	3600 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWCK031S2	D300	UPE	標準	EUV、その他	3 nm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWCK061S2	D600	UPE	標準	EUV、その他	3 nm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWCK0S2S1UC	D	UPE	ウルトラクリーン	EUV、その他	3 nm	—	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWCT0S0P1	DPR	UPE	標準	EUV、その他	3 nm	—	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWDK061S2	D600	UPE/ナイロン(DUO)	標準	EUV、その他	3 nm	440 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWDK0S2S3	D	UPE/ナイロン(DUO)	標準	EUV、その他	3 nm	1500 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWMX031S2	D300	UPE	ウルトラクリーン	ArF	0.02 µm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWMX0S0P1N	DPR	UPE	ウルトラクリーン	ArF	20 nm	2200 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWMX0S0X1	DPR	UPE	ウルトラクリーン	ArF	0.02 µm	2200 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flowell™ 60 fittings
CWMX0S1S3	D	UPE	ウルトラクリーン	ArF	0.02 µm	2200 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWNT0L0P1	DPR-L	ナイロン	標準	液浸	10 nm	2500 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWNT0S0P1	DPR	ナイロン	標準	液浸	10 nm	1400 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWNT3L0F1	DPR-L	ナイロン	標準	液浸	10 nm	2500 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手
CWNT3L0P1	DPR-L	ナイロン	標準	液浸	10 nm	2500 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWNT3L0X1	DPR-L	ナイロン	標準	液浸	10 nm	2500 cm2	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flowell™ 60 fittings
CWNT8L0P1	DPR-L	ナイロン	標準	液浸	10 nm	2500 cm2	入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手
CWNX3L0F1	DPR-L	ナイロン	標準	ArF	20 nm	2500 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手
CWNX3L0X1	DPR-L	ナイロン	標準	ArF	20 nm	2500 cm2	3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flowell™ 60 fittings
CWNZ0S2S3	D	ナイロン	標準	KrF	0.05 µm	1400 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWSF031S2	D300	UPE	標準	EUV、その他	5 nm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWSF061S2	D600	UPE	標準	EUV、その他	5 nm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWSF0S2S3M	D	UPE	標準	EUV、その他	5 nm	—	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWSF3L0P1	DPR-L	UPE	標準	EUV、その他	5 nm	4000 cm2	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手
CWSF6S0P1	DPR	UPE	標準	EUV、その他	5 nm	—	入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手
CWSK0S2S3M	D	UPE	標準	EUV、その他	3 µm	—	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWST0S2S3M	D	UPE	標準	液浸	10 nm	—	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWUA031S2	D300	UPE	標準	KrF	1 µm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWUA061S2	D600	UPE	標準	KrF	1 µm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWUG0L2S1	D-L	UPE	標準	KrF	0.2 µm	3100 cm2	入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手
CWUH031S2	D300	UPE	標準	KrF	0.5 µm	300 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings
CWUH061S2	D600	UPE	標準	KrF	0.5 µm	600 cm2	1/4" inlet/outlet, 1/8" vent/drain, compression fittings