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Chambergard™ FV50D XL ガスディフューザー

Chambergard (チャンバーガード) FV50 ガスディフューザーは、効率的で頑丈なニッケルディスクメンブレン製で、ロードロックおよびトランスファーチャンバー内の粒子とベント時間を迅速に削減します。

  • 定格 100 万サイクルで、比較的高い一次側圧力を使用可能な設計
  • コンパクトなディフューザーを構成する特許取得済みの焼結ニッケルの技術は、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供
  • ガス中の 0.0015 µm 以上の粒子を除去し、ウェーハの欠陥を最小限に抑制
  • 既存装置への導入、レトロフィットによるダウンタイムの削減
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