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超高純度 シリコン コーティング

超高純度シリコンは、さまざまなアプリケーションに対応する高密度かつマイクロコンフォーマルで密着性が高く、極めて滑らかな超高純度のシリコンコーティング(99.9995%)です。 シリコンコーティングは独自のプラズマCVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)処理で成膜されています。汎用性が高く、さまざまな基材をコーティングする際に優れた柔軟性を発揮します。内部応力が低いため、基材と仕上がりに応じて1ミクロンから100+ミクロンの範囲の厚さで成膜できます。

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