ガスピューリファイヤーの再生サービス
インテグリスでは、お客様がガスピューリファイヤーを継続してご利用いただけるよう、ガスピューリファイヤーの再生サービスを行っています。ピューリファイヤー内の飽和した媒体から不純物を取り除いて再生することで、繰り返し使用することができます。再生サービスの手続きについてはお問い合わせください。
ピューリファイヤーを再生することで、新しいピューリファイヤーを購入するのと比べ30%～70%の費用を節約でき、所有コストの削減にもなります。さらに、ピューリファイヤーのリサイクルは環境にやさしい取り組みでもあります。
With our service, you benefit from:
• Cost savings vs. purchasing new
• Restored purifier performance
• No hazardous material disposal costs
• An extended purifier warranty
• Three regeneration locations
- San Luis Obispo, USA + 1 800 394 4083
- Dresden, Germany + 49 351 795 97250
- Kulim, Malaysia + 65 6745 2422
注目のホワイトペーパー
ボウリングのような汚染物質除去： ガス精製の新しい科学
このホワイトペーパーでは、デバイスの高い歩留まりを確保するために、ウェーハプロセスの全工程で供給元からガス純度を管理する精製の科学の重要性について説明しています。
The Regeneration Process
Step 1: Is your purifier regenerable?
Consult the chart below to determine if your purifier is regenerable. The media code is located within your purifier part number.
Example media codes: GPUS500FIX04R00CA, GPUS2500FNX08R00CA, MC3000-902F, MC9000-202F, MC9000-202F, CE2500KHI8R
| Media | Regenerable? | Dangerous Goods? |
|---|---|---|
| GateKeeper® GPU Gas Purifiers | ||
| NX, OP, TX, WX, WY | Yes | No |
| DX, DZ, EX, HX, IX, SX, YX* | Yes | Yes |
| AP, BX, CR, CO, CX, DO, FX, KX, LG | No | - |
| Legacy GateKeeper Gas Purifiers | ||
| N, O | Yes | No | H, I, SK* | Yes | Yes | C, LK | No | - | Legacy MicroTorr® Gas Purifiers | 202, 203, 206, 404, 408, 906 | Yes | No |
| 702*, 703, 804, 902, 903, 904, 905, 909 | Yes | Yes |
| 302, 402, 403, 502, 602, 802 | No | - |
Step 2: Is Your Purifier Dangerous Goods?
Understanding if your purifier is Dangerous Goods (DG) is important because DG items must be shipped by someone certified to ship DG. This person will have attended DG classes and has a Dangerous Goods Certification.
Step 3: Complete the PRUS (Purifier Return Usage Statement) Form
All product returned to Entegris requires a PRUS. All regenerations are processed through Entegris' gas purifier field support services department. Contact Entegris to receive a copy of the PRUS form.
Step 4: Receive Service Return Number
Upon receipt of the completed PRUS form a service return number will be emailed to you. Include this service number with your purifier return.
Step 5: Send to Entegris
Send the purifier, PRUS, and service return number to Entegris for regneration.
再生サービスの利点:
- 新規購入に対するコスト削減
- ピューリファイヤーの性能回復
- 有害物質の処分費用がかからない
- ピューリファイヤーの保証期間の延長
- 3ヵ所の再生センター (サンディエゴ(米国)、ドレスデン(ドイツ)、 クリム(マレーシア)