先端成膜材料のイノベーション
開発から製造まで、以下のような流れで、用途に応じた材料を開発しています:
1. 新しい材料の開発と実証
2. 材料の供給
3. 量産への移行
新しい材料の開発と実証
半導体や装置メーカーとの緊密に協力し、次世代の成膜、デバイス、およびプロセス要件の候補となるプリカーサーを開発およびテストします。 成膜とプロセスの評価は、社内の ALD および CVD 装置使用して行います。
材料の供給
インテグリスの液体/固体のプリカーサー用の容器や気化器は、お客様の純度やフローの要件を満たしています。 腐食性材料のコーティングに配慮した設計は、プリカーサーの特性や材料に合わせてカスタマイズされています。 それぞれの設計は、成膜装置とプロセス要件を満たすように供給条件が最適化され、試験されます。
- シミュレーションモデル
- 目的のプリカーサーと実際のプロセス条件による試験
薬品の供給装置は、工場の生産性のニーズを満たすように設計され、工場のプロセス装置に統合されています。
包括的なプリカーサー容器のポートフォリオ
量産への移行
インテグリスはお客様の積極的な立ち上げ計画を迅速なスケールアップでサポートします。統計的工程管理 (SPC) を用いて、開発中に特定した主要な製品要件を大量生産 (HVM) に反映されるようにします。コスト、品質、生産量の改善点が、製品のライフサイクル全体にわたって確認、実行されます。
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先端成膜材料の開発:成功のためのレシピ
このホワイトペーパーは、どのような成膜のコンフォーマル性の要件が、CVD (化学気相成長法) からパルス CVD および ALD (原子層堆積法) へのプロセス技術の変化を牽引しているかを掘り下げています。 また、半導体メーカーのニーズを満たすカスタマイズされた成膜材料の開発および認定する方法と、大量生産への移行に必要な手順についても説明しています。(英語のみ)
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低温成膜のためのシリコンプリカーサー ツールボックス
このホワイトペーパーは、複雑で入り組んだ理想的なプリカーサーの選択と、使用できる幅広いプリカーサーについて説明します。ひとつに統合する課題を解決するための数あるアプローチは、厳しく、費用がかかる場合があります。 インテグリスは、チップメーカーが最適なソリューションをすばやく見つけるためのプリカーサー ツールボックスを開発しました。(英語のみ)
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ADM コラボレーションのタイムライン
先端成膜材料 (ADM) の開発におけるコラボレーション プロセスのタイムラインと、材料がすべての技術的要件を満たし、革新的な技術を実現するための各段階におけるインテグリスの取り組みの紹介 (英語のみ)。 再生時間:02:02
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インテグリスにおける先端成膜材料のイノベーション
半導体ノードが 10 nm 以下に縮小し、平面的だった構造が複雑な 3D 構造に進化する中で、成膜材料における新しいパラダイムを開発する必要があります。 インテグリスは、先端材料の開発に総合的なアプローチを採用し、業界をリードするイノベーションを生み出しています。
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先端成膜材料の開発:成功の秘訣
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業界の技術、品質、経済的な課題に対応可能なプリカーサー
インテグリスの様々な成膜用プリカーサーとプリカーサー供給システムのリスト