集積 ガスフィルター
- 28.58 mm (1.125")
- ニッケル
- ステンレス
- バルクガス供給
- 成膜
- ドライエッチング
- イオン注入
- 38.1 mm (1.5")
- ステンレス
- ニッケル
- ドライエッチング
- バルクガス供給
- イオン注入
- 成膜
- 1.125"
- W-Seal
- Photolithography
- Deposition
- Dry Etch
- Ion Implantation
- 1.125"
- C-Seal
- Ion Implantation
- Deposition
- Dry Etch
- Photolithography