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TitanKlean® AG W (タイタンクリーン AG W) シリーズは、タングステン対応のエッチング後残留物、ハードマスク除去ソリューションです。
配線技術
  • Cu
  • W
テクノロジーノード(nm)
  • 7
  • 10
産業
  • 半導体
プロセス
  • エッチング後
TitanKlean® AG (タイタンクリーンAG) シリーズは、銅、コバルト、ルテニウム対応のエッチング後残留物、ハードマスク除去ソリューションです。
配線技術
  • Cu
テクノロジーノード(nm)
  • 7
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産業
  • 半導体
プロセス
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