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高純度エッチング用グラファイトは、シリコン、クォーツ、その他のセラミックの交換コンポーネントとしてプロセス性能を向上させるのに役立ちます。
産業
  • 半導体
プロセス
  • ドライエッチング
炉体の性能を最大化する高純度グラファイトです。
産業
  • 半導体
  • 工業
  • ソーラー/PV
プロセス
  • ドライエッチング
  • 成膜
  • イオン注入
選択スパッタリングのない均一なスパッタリングを提供する高純度グラファイトです。
産業
  • 半導体
  • 工業
プロセス
  • 成膜
E-ビームるつぼは蒸着性能が向上しています。
産業
  • 半導体
  • 工業
プロセス
  • 成膜
特定のビームライン領域の要件に合致したグラファイト/シリコンカーバイドのグレードの最適化されたビームライン部品です。
産業
  • 半導体
プロセス
  • 注入
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