ドライエッチング


汚染物質を低減し最高の部材を選ぶことで、より高いエッチングレートを維持し、プロセスを守り強化することができます。

プロセス目標を達成するということは、工程中の望ましいことと望ましくないことの両方を制御するということです。 インテグリスの先進的なコンポーネントやコーティング、プロセス装置用ケミカルフィルター、ガスフィルターは、望ましくない影響を減少させ、パフォーマンスが向上し、より高いエッチングレートが期待できます。