ガスのろ過、精製

インテグリスは、エア、バルクガス、スペックガスのろ過と精 製の専門知識、技術、ソリューションでお客様 のニーズに応えます。

ユースポイント(POU)でも薬液供給システムでも、またチャンバーで もウェーハでも、クリーンルームでもツール上でも、インテグリスは、 お客様のニーズに沿った高性能なガス/エア精製およびろ過製品を提供 してきた長年の歴史があります。