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InVue™ (インビュー) インテグレーテッド 流量コントローラ NT6510 (15 - 1250mL/min) は、差圧式流量計と最先端の制御バルブ技術を組み合わせ、理想的なクローズドループフローコントロールを実現します。
流量レンジ
  • 0 - 1250 mL/min
産業
  • 半導体
  • LED
  • フラットパネルディスプレイ
  • LED
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの大口径化
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 基板洗浄
  • 基板 - IPA
  • メディア - 洗浄
  • 基板 - 研磨
  • メディア - IPA
  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
  • HDDアセンブリ - 洗浄
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • HGA/HSAアセンブリ - 洗浄
  • 磁気ヘッド - CMP
  • 薬液供給
  • リソグラフィ
  • 洗浄
InVue™ (インビュー) インテグレーテッド 流量コントローラ NT6520 (2.5 - 40L/min) は、差圧式流量計と最先端の制御バルブ技術を組み合わせ、理想的なクローズドループ流量制御を実現します。
流量レンジ
  • 2.5 - 40 L/min
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの大口径化
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • C-シリコン
  • 薄膜
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - CMP
  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
  • メディア - 洗浄
  • メディア - IPA
  • 基板 - IPA
  • 基板-洗浄
  • 基板 - 研磨
  • HGA/HSAアッセンブリー - 洗浄
  • HDDアッセンブリー - 洗浄
最新の電子技術と高清浄な材料を使用したNT™インテグレーテッド フローコントローラ、モデル6500は、従来のアプリケーションで高精度な流量を実現します。
流量レンジ
  • 0 - 40 L/min (従来製品)
産業
  • 太陽電池
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
  • LED
プロセス
  • C-シリコン
  • 薄膜
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハ製造
  • 洗浄・剥離
  • 洗浄
  • リソグラフィ
InVue®インテグレーテッド流量コントローラ、モデルNT6510およびNT6520の電気ケーブルの終端に使用するアクセサリケーブルです。
流量レンジ
  • N/A
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