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InVue™ (インビュー) インテグレーテッド 流量コントローラ NT6510 (15 - 1250mL/min) は、差圧式流量計と最先端の制御バルブ技術を組み合わせ、理想的なクローズドループフローコントロールを実現します。
流量レンジ
  • 0 - 1250 mL/min
産業
  • 半導体
  • LED
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの大口径化
  • ウェーハの洗浄・剥離
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  • メディア - 洗浄
  • メディア - IPA
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  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - CMP
  • HGA/HSAアセンブリ - 洗浄
  • 薬液供給
  • リソグラフィ
  • 洗浄
InVue™ (インビュー) インテグレーテッド 流量コントローラ NT6520 (2.5 - 40L/min) は、差圧式流量計と最先端の制御バルブ技術を組み合わせ、理想的なクローズドループ流量制御を実現します。
流量レンジ
  • 2.5 - 40 L/min
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
  • データストレージ
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの大口径化
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • C-シリコン
  • 薄膜
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - CMP
Accessory cable used to terminate electrical cables on our InVue® Integrated Flow Controllers, models NT6510 and NT6520
流量レンジ
  • N/A
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