ご来場をお待ちしています。ブース番号: 7214 (南 1 ホール)

インテグリスはセミコン・ジャパン 2019 に出展します。 先端ノードを実現し、歩留まりと信頼性を向上させるための一貫したソリューションを是非ご覧ください。

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注目の出展

完璧なパターンの追求

リソグラフィプロセス全体に影響する欠陥、その原因、その対処法など完璧なパターンの追求においてばらつきを排除する方法。

一貫したガス精製

先端のガス精製で供給ガス中の複数の微量不純物を除去し、不純物のレベルを下げ、メンテナンスサイクルを維持方法をご紹介します。

3D NAND の材料と集積化

材料とプロセスの改善により、増え続ける記憶容量のニーズに応える歩留まりの高い 3D NAND 構造が実現可能です。

先端成膜材料のイノベーション

インテグリスが、業界をリードする特殊配合薬品、CMPパッドコンディショナー、CMP後洗浄ブラシの開発において、総合的なアプローチを使用して高度な技術的課題をどのように解決するかをご紹介します。

先端のコーティング

エッチングレートと堆積膜の電気的な完全性を維持するためのプラズマチャンバー部品のコーティングをご紹介します。

一貫したウェーハハンドリングのソリューション

インテグリスは、人の介入を最小限に抑えた一貫したウェーハハンドリングのソリューションを提供します。

高純度薬液の供給

クリーンで安全な薬液供給を実現するための薬液容器、配管、ディスペンスシステムをご紹介します。

注目の製品

Accusizer mini system product image
CMP スラリーの粒度分布測定

Accusizer® Mini (アキュサイザーミニ) CMPスラリーモニターは、リアルタイムにオンラインでスラリーのサイズと個数を、優れた検出精度と再現性で計測する事ができます。