50 Years of Pure Advantage

高純度薬液の供給

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAM メモリの高密度化に伴い、コンタミネーションとディフェクトに対する感度はデバイス性能に大きく影響します。最適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイント至るまで、増加する消耗材料の要件と材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。

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PURE 製品

ビジネスを決定づけ、活性化させる飽くなきPureの追求

インテグリスの製造能力は、お客様の歩留まりの向上をサポートするために設計され、耐久性と一貫した信頼性の高い高純度な製品を製造するために、開発、テスト、改善を繰り返してきました。

インテグリスはPureを実現することで、お客様のイノベーションと効率化を可能にします。

インテグリスが果たす役割

PURE パートナーシップ

お客様のための Creating a material advantage

包括的にプロセスを理解することでインテグリスは、世界の大企業と協力して厳しい製造上の課題を解決することも可能になりました。

インテグリスとパートナーシップを結ぶことで、優位性が確保されます。 

協働の重要性

PURE プロセス

よりクリーンに、より小さく、より速く、より高品質に

プロセスの完全性を確保する材料対応ソリューションを開発するため、インテグリスはお客様のオペレーションと汚染源の理解に注力しています。

原材料から製造工程に至るまで、インテグリスはお客様のニーズに合わせた開発と製造に細心の注意を払っています。

インテグリスのアプローチ

PURE 製品

InVue™ CR288 液体用濃度計

プロセス中断することなく、使用点での液体のミキシングや補充、希釈における濃度をリアルタイムでモニタリングできます。

材質 PTFEまたは 316ステンレス スチール

チャンネル1-4

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ピュアな製品

FlowPlane™リニアフィルトレーション技術

最先端のテクノロジーノードのアプリケーションで次世代の清浄度とコンタミネーションコントロール性能を実現

流量2.0 L/min

アプリケーション2x以降のテクノロジーノード

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ピュアな製品

CR8シリーズ空圧式バルブ

高純度・腐食性薬液アプリケーションに信頼できる性能を提供する小型バルブ

流量係数1.8~3.4 Cv

信頼性400万サイクル以上の試験に合格

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