Fluid Management

流体管理


人工知能、ロボット工学、スマートホーム、スマート カー、IoT などの時代の大きな流れが、スピード、規模、信頼性などの高まるニーズに応えて進化するにつれ、集積回路 (IC)メーカーはプロセッサの電力効率とメモリ容量の拡張を余儀なくされています。これを達成するために、加工寸法が微細化し、プロセスの複雑化が進み、汚染と欠陥がより大きくデバイス性能に影響するようになっています。

インテグリスは、高純度薬液供給における固有の課題を理解し、お客様と共に薬液供給システムの清浄度の開発および最適化を行います。高速で正確な測定管理から高度な粒子特性評価、安全で効率的な薬液のハンドリングまで、インテグリスは、薬品製造からユースポイントに至る各段階における汚染管理のソリューションを提供します。インテグリスは、流路全体で薬品の清浄度を維持し、デバイス性能の改善と歩留まりの向上のお手伝いができます。

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Reducing Contamination Points in Clean Chemical Delivery from Manufacture through Point of Use

製造からユースポイントまでの薬液供給における汚染源の削減

This paper takes a closer look at ways to more comprehensively meet increasing purity specifications throughout chemical and device manufacturing.

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