高純度薬液の供給


Clean Chemical Delivery Spotlight

ロジックデバイスの線幅の微細化、3D NAND 構造による多層化、DRAM メモリの高密度化に伴い、コンタミネーションとディフェクトに対する感度はデバイス性能に大きく影響します。最適なウェーハの歩留まりと信頼性を達成するためにマイクロエレクトロニクス業界は、薬品の製造からユースポイント至るまで、増加する消耗材料の要件と材料の清浄度についての課題を克服する必要に迫られています。


インテグリスは、汚染を制御した薬液容器、フィルター、ポンプ、流体制御製品によってお客様が清浄度の高い薬液を供給し、製品の歩留まりを向上させ、経済的損失を減らすことをお手伝いすることができます。

清浄な薬品供給で収率を改善する方法