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分析サービス

インテグリスの分析チームは、半導体のクリーンルーム、フォトリソグラフィ(装置メーカーの認証取得済み)における空気中の分子状汚染物質(AMC)に精通しています。

分析サービスはインテグリスの世界各地にある30を超えるラボの1つであり、スキャナー/ステッパーの装置メーカーの認証を取得し、プロセスのトラブルシューティング、材料のアウトガス、ケミカルフィルターにおける検証試験の専門知識を提供します。

分析対象のAMCには、揮発性および不揮発性の有機化合物、陰イオン(酸)、陽イオン(塩基)、低~高分子のシリコン含有化合物などがあります。 供給ガスの水分もオンサイトで測定可能です。

オンサイトでの測定箇所としては、AMCフィルター装置の上流と下流(エアハンドラ、FFU、またはツールトップ実装)や、スキャナー用フィルターキャビネットおよびファブ供給ガスなどがあります。 また、インテグリスの分析サービスは、アウトガスおよび清浄度試験向けのさまざまな材料を受け入れることができ、最先端の風洞試験施設を備えています。 ここでは、最も現実的で正確なAMCフィルター性能を得るために、業界最低レベルの濃度環境で未使用または使用済みのフィルターを定格の流量、温度、湿度で試験することができます。

インテグリスの分析サービスでは、AMCフィルター製品およびガス精製システムの現場内サポートを提供します。

提供サービス:
  • スキャナー/ステッパーの装置メーカーからの認証を取得した測定
  • 一般的なAMC分析サービス
  • ケミカルフィルターの性能試験
  • 材料AMCアウトガス試験
インテグリス分析サービスが選ばれる理由:
  • 半導体業界で最速のAMCサンプリングサービス(ファブ内外で1作業シフト内)
  • 最適化された技術でパフォーマンスを最大限に向上
  • 品質と使いやすさを重視
  • スキャナー装置メーカーの認証とアプリケーションに関する深い知識
  • AMCフィルター製品とオンサイト分析評価の組み合わせ

詳しい分析サービスの内容について:

担当営業にお問合せください。

「お問い合わせ」ページでも国内および海外の拠点情報をご確認いただけます

お問合せ

インテグリスの分析サービス事業はISO 17025認定を取得しており、世界中に訓練と経験を積み重ねたサンプリング作業員のネットワークがあり、スキャナー装置メーカーと強固な関係を築いています。

AMCフィルターおよびアプリケーションを熟知しているほか、半導体業界とそのプロセスおよびAMCの課題にも精通しており、試験結果を適切に把握してお客様の問題解決やコンタミネーションの原因の特定を支援します。 

さらに、インテグリスは、幅広い製品ラインナップで総合的なコンタミネーションコントロールソリューションを提供しており、装置メーカーからの認証も取得した測定における推奨パートナーでもあります。 

空気中の分子状汚染物質(AMC)の特定、測定、および制御についてはインテグリスにご相談ください。