分析サービス
Our analytical services team leads the way in the measurement of airborne molecular contamination (AMC) for semiconductor cleanrooms, photolithography applications and OEM compliance.
Analytical Services is one of more than 30 Global Laboratories within Entegris and provides expertise for scanner/stepper OEM compliance, process troubleshooting, materials outgassing and chemical filter validation testing. Typical AMC classes analyzed are volatile and nonvolatile organic compounds, anions (acids) and cations (bases) as well as low- and high-molecular weight, silicon containing compounds.
Frequent onsite test locations are upstream and downstream of AMC filter installations, either in air handler, FFU or tool-top implementations, as well as scanner filter cabinets and fab supply gases. In addition, Entegris Analytical Services can receive a variety of materials for outgas and cleanliness testing and operates a state of the art wind tunnel test facility. Here we test new or used filters or filter stacks at nominal flow, temperature and humidity at the industry’s lowest test concentrations for the most realistic and accurate AMC filter performance.
Entegris Analytical Services provides in-field support for AMC filter products and Gas purification systems.
Entegris offers unique gas and air sampling systems with solid-state traps for off-line AMC analysis. Our analytical sampling, analysis, and certification are compliant with lithography and inspection/ metrology tool optics warranty certification requirements.
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注目の資料
半導体業界における空気中の分子状汚染物質 (AMC) ソリューション
A detailed overview of AMC of sources and trends, and recommended filtration solutions including our portfolio of VaporSorb™ Advantage filters
提供サービス:
- スキャナー/ステッパーメーカーからの認証を取得した測定
- 一般的なAMC分析サービス
- ケミカルフィルターの性能試験
- 材料AMCアウトガス試験
インテグリス分析サービスが選ばれる理由:
- 半導体業界で最速のAMC サンプリングサービス (ファブ内外で1作業シフト内)
- 最適化された技術でパフォーマンスを最大限に向上
- 品質と使いやすさを重視
- スキャナーメーカーの認証とアプリケーションに関する深い知識
- AMCフィルター製品とオンサイト分析評価の組み合わせ
Our analytical services operation is ISO 17025 accredited, has a worldwide network of trained and experienced sampling personnel and brings strong relationships with Scanner OEMs.
We also offer intimate AMC filter and applications expertise, in-depth knowledge of the semiconductor industry, its processes and AMC challenges, as well as the expertise to put results in perspective and assist in solving problems or identifying contamination sources.
In addition, we offer a broad suite of products for comprehensive contamination control solutions and are a preferred partner for OEM compliance measurements.
For more information on how to take advantage of the specialized expertise in identifying, measuring and controlling airborne molecular contamination, please contact us.
インテグリスの分析チームは、半導体のクリーンルーム、フォトリソグラフィ(装置メーカーの認証取得済み)における空気中の分子状汚染物質(AMC)に精通しています。
分析サービスはインテグリスの世界各地にある30を超えるラボの1つであり、スキャナー/ステッパーメーカーの認証を取得し、プロセスのトラブルシューティング、材料のアウトガス、ケミカルフィルターにおける検証試験の専門知識を提供します。
分析対象のAMCには、揮発性および不揮発性の有機化合物、陰イオン(酸)、陽イオン(塩基)、低～高分子のケイ素含有化合物などがあります。供給ガスの水分もオンサイトで測定可能です。
オンサイトでの測定箇所としては、AMCフィルター装置の上流と下流(エアハンドラ、FFU、またはツールトップ実装)や、スキャナー用フィルターキャビネットおよびファブ供給ガスなどがあります。また、インテグリスの分析サービスは、アウトガスおよび清浄度試験向けのさまざまな材料を受け入れることができ、最先端の風洞試験施設を備えています。ここでは、最も現実的で正確なAMCフィルター性能を得るために、業界最低レベルの濃度環境で未使用または使用済みのフィルターを定格の流量、温度、湿度で試験することができます。
インテグリスの分析サービスでは、AMCフィルター製品およびガス精製システムの現場内サポートを提供します。
インテグリスの分析サービス事業はISO 17025認定を取得しており、世界中に訓練と経験を積み重ねたサンプリング作業員のネットワークがあり、スキャナーメーカーと強固な関係を築いています。
AMCフィルターおよびアプリケーションを熟知しているほか、半導体業界とそのプロセスおよびAMCの課題にも精通しており、試験結果を適切に把握してお客様の問題解決やコンタミネーションの原因の特定を支援します。
さらに、インテグリスは、幅広い製品ラインナップで総合的なコンタミネーションコントロールソリューションを提供しており、装置メーカーからの認証も取得した測定における推奨パートナーでもあります。
空気中の分子状汚染物質(AMC)の特定、測定、および制御についてもインテグリスにご相談ください。