PURE 製品

Pureの追求

インテグリスの存在意義は、たゆみないPureの追求であり、お客様のプロセスを最善にすることです。この目標に沿って、インテグリスの開発と製造能力は設計・考案され、組織の総力を結集した極めてPureな製品とソリューションを提供しています。

50年に渡り、インテグリスが成し遂げてきたことすべてが、現在のインテグリスのあり方や提供できることの基盤となっています。 インテグリスは、これまで以上に日々Pureに強く、集中し、意識をもって取り組んでいます。 主要な市場に提供している幅広い製品ラインアップと技術ポートフォリオにより、インテグリスの総合的なサービスと製品はこれまで以上に最適化されつつあります。これは、お客様との協働やインテグリスの使命がさらに重要になっていることを意味します。

今後もインテグリスは、既成概念の枠を超えた製品とPURE ADVANTAGEの追求に邁進します。 

 

Pureの追求による最新製品の例

Torrento® Xシリーズ7 nmフィルター

FlowPlane™(フロープレーン) リニアフィルトレーション技術採用のTorrento® (トレント)  Xシリーズ7 nmフィルターは、10 nm以降のテクノロジーノードのための先進的なウェット洗浄アプリケーションを実現するものです。

フロープレーンとは、半導体業界初の拡張可能で、直線的な、高流量ろ過プラットフォームであり、10 nm以降のテクノロジーノードのための先進的なウェット洗浄アプリケーションを実現するものです。リニアフィルトレーション技術に基づくシリーズ初のフィルターであるフロープレーンSモデルは、供給点(POD)アプリケーション向けに設計されており、重要なウェット洗浄アプリケーションにおいてウェーハ上のディフェクトを低減するとともに歩留まりの向上も実現します。 

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